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上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪国际(1)招标公告
日期:2024-06-19 收藏项目
1、招标条件
项目概况:上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪国际招标
资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0705-244006001094
招标项目名称:上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 等离子增强型化学气相沉积成膜仪 1套 1)SiO2的沉积速率:≥40 nm/min;SiO2沉积的片间厚度重复性:≤±3%;SiO2沉积的折射率片内均匀性:≤±0.01。2) SiO2沉积的片内厚度均匀性(去边5mm):8英寸范围≤±4%;6英寸范围≤±3%;4英寸范围≤±2%。3) SiNx的沉积速率:≥10 nm/min;SiNx 沉积的片内厚度均匀性(去边5mm):8英寸范围≤±4%;6英寸范围≤±3%;4英寸范围≤±2%,SiNx沉积的片间厚度重复性:≤±3%;SiNx沉积 的折射率片内均匀性:≤±0.05。4)其他技术要求详见第八章第二部分《技术规格》。 合同签订后6个月内交货
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)具有独立法人资格及独立承担民事责任的能力,在法律和财务上独立,根据商业法规合法运作;
2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
4)具备可靠的售后服务能力,拥有专业技术支持人员以及硬件维修工程师负责售后服务;
5)若投标人不是投标货物的制造商,则必须提供投标货物制造商出具的针对本项目的唯一授权书;
6)投标人或投标货物制造商近3年内(2021年6月至今)须具有不少于2项同类设备的销售业绩(提供业绩清单及合同复印件);
7)参加本次招标活动前3年内,投标人在经营活动中没有违法记录,无利用不正当竞争手段骗取中标,无行贿犯罪记录;
8)采用源自中华人民共和国关境内(不包括香港、澳门和台湾等单独关境地区)制造的产品(含由境内海关特殊监管区域内企业生产或加工(包括从境外进口材料、部件)的产品)参与投标的境内投标人,应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款所规定的资格条件(应在投标文件中提供《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款所规定的资格证明文件);
9)投标人须在投标截止期之前完成有效注册及招投标业务登记。
10)本项目不允许联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-06-19
招标文件领购结束时间:2024-06-26
招标文件售价:¥500/$80

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