********采购方式竞价采购货物信息列表序号货物（服务）名称数量计量单位预算单价1强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工9套********技术参数1.靶耐受功率在300-1000W连续可调，800W可长期工作100小时；2.靶绝缘电阻大于50MΩ；3.靶冷却背板为高纯铜材料；4.带屏蔽射频电缆，长度为1米；5.带强制水冷结构，能承受5公斤的冷却...
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