目名称：深紫外光刻机********数量：1台********技术规格：（1）主要用途：深紫外光刻机主要用于光子芯片制造，通过投影成像方式，把掩膜板上图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有光刻胶层的硅片表面，是集成光子芯片大规模、低成本制造的主要手段。利用光子集成芯片代替传统光纤分立器件可实现小体积、低成本.
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：王越
电话：010-68819835
手机：13661355191 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：wangyue@zbytb.com
下载招标公告:深紫外光刻机招标公告.pdf
