式单一来源拟定成交供应商上海新微技术研****公司单一来源原因通过综合比对国内三家典型硅基MEMS器件加工平台（中国科学院微电子研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、上海新微技术研****公司）的技术服务能力，只有上海新微技术研****公司具备CSOI技术和提供超低电阻率硅片的能.
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