额（万元）预计采购时间（填写到月）备注1机械工程学院测控技术与仪器专业建设二期项目采购内容:其他分析仪器采购数量:1台主要功能或目标:IC制造领域的三维形貌量测系统作为半导体产业的关键技术，能够实现对微纳结构粗糙度、高度等三维形貌特征进行无损、快速与高精度表征，结合强大的可视化、数据分析和报告解决方案...
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