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上海交通大学磁控薄膜沉积系统国际招标公告
日期:2024-06-12 收藏项目
项目名称:上海交通大学磁控薄膜沉积系统

预算金额:290.000000 万元(人民币)

最高限价(如有):290.000000 万元(人民币)

采购需求:

序号/ No.

货物名称/

Name of the goods

数量/Quantity

简要技术规格或用途

/Main Technical Data

交货期

/ Delivery schedule

1

磁控薄膜沉积系统

1套

镀膜均匀性指标:3英寸靶枪在6英寸硅片镀制150nm以上的薄膜,均匀性不大于+/-5%,从基片中心到基片边缘每隔0.5英寸取一个测量点(去掉5mm边缘),使用台阶仪对每个点测量三次,取平均值,均匀性计算公式:±均匀性=((最大–最小) / (2 ×平均))× 100%

签订合同并收到信用证后12个月内。/CIP Shanghai Jiao Tong University within 12 months after signing the contract and receiving the L/C

合同履行期限:签订合同并收到信用证后12个月内

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

按商务部的《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》等相关规定

……

三、获取招标文件

时间:2024年06月12日 至 2024年06月19日,每天上午9:00至11:30,下午13:30至16:00。(北京时间,法定节假日除外)

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联系人:方婷
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