料包括：各种金属，半导体，氧化物，氮化物，合金，掺杂薄膜等，实现各种纳米材料，纳米结构，纳米器件制备。主要功能：1.在配有快速进样室的情况下，样品可以在20分钟之内更换，提高实验效率。2.可实现共溅射，用于合金，掺杂，化学计量比调控。3.可实现高致密度介质材料在反应气体辅助的条件下沉积。4.可实现原位真空.

本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：王越
电话：010-68819835
手机：13661355191 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：wangyue@zbytb.com

下载招标公告:深圳大学直流磁控镀膜意向.pdf