.详细技术要求★********采用无油前级泵。********对氮气抽速：大于220L/s(CF100/ISO100)。********极限真空度：8×10-8mbar（KF40）-5×10-10mbar（CF100）。********进气口法兰：NW40/ISO63/CF63/ISO100/CF100。★********重量：小于30kg。★********智能化：无油前级泵、分子泵和控制器需集成化，可实现一键按钮启动泵组，分子泵转速根据真空度自动调节。★********

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