标范围********货物名称：离子注入机********招标编号：***-***************设备用途：离子注入机主要用于在SiC基GaN外延层中注入离子，形成有源区的隔离和欧姆接触区域的注入掺杂，以实现GaN芯片的平面化隔离和低阻欧姆接触。********数量：1台********交货期：关境内供货：合同签字生效后15个月货到用户成都项目现场；境内供货：合同签字生效后..
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