预算金额（元）预计采购时间（填写到月）备注1深紫外椭偏仪深紫外椭偏仪1台，用于测量金属、光刻胶、二氧化硅等薄膜材料的折射率和厚度参数，应用的领域包括：半导体、光学、材料学和新兴交叉学科等各种学科。设备指标如下：测量波长范围：146nm-1100nm，测量样品尺寸：≤200mm，入射光角度范围：10°-90°，样品自对准..
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