行国际公开招标采购。1.招标范围********货物名称：193nm准分子激光器********招标编号：***-***************设备主要技术指标：********激光器1：a)波长覆盖范围：193nm；b)平均峰值能量：>5mJc)重复频率：1000Hz；d)光谱线宽：5W;f)冷却方式：水冷；********激光器2：a)波长覆盖范围：193nm；b)平均峰值能量：>20mJc)最高重复频率：4000Hz；d)平..
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