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深圳国际量子研究院量子器件与芯片加工中心洁净实验室工艺设备二次配工程意向
日期:2024-04-02 收藏项目
:其他安装采购需求概况:本项目施工区域为深圳国际量子研究院量子器件与芯片加工中心洁净实验室,施工内容为:1、工艺设备(RIE,DRIE,ICPSPTS,ICP,气相HF,ALD,PECVD,LPCVD,电子束蒸发,磁控溅射-电子束蒸发,半自动划片机,全自动打线机,恒温机,全自动去胶剥离机等)之工艺配电、工艺排风(酸、碱、有机、一般)...

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