一、项目名称：离子注入机 二、项目内容 技术要求： 晶圆尺寸 碳化硅6英寸 注入能量范围 30~380keV 能量精度 quot;≦±********千伏（100keV以下） ≦±1%（100keV以上）quot; 注入元素 Al、N、P、B 注入角度 0°～45°自动可调，角度精度≤********° 注入均匀性 1σ≤********% 注入重复性 1σ≤********% 剂量范围 5E11～1E16 ions/cm2 注入最高温度 550℃ 靶台控温精度 ±2℃ 束流稳定性 ≤10% 束流平行度 ≤********°（六英寸）
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联系人：张培
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