电子研究所隔振器A********-其他机械设备详见项目详情139.********年06月详见项目详情3中国科学院微电子研究所ShadowMorie（热变形外貌检测）A********-热分析仪详见项目详情620.********年06月详见项目详情4中国科学院微电子研究所板材金属化设备A********-样品前处理及制备仪器详见项目详情1100.********年06月详见项.
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