，兼容8英寸以下基片；2.镀膜均匀性：8英寸基片内≤±5%；********个4英寸靶枪，靶枪最低工作压强：≤1mTorr；4.本底真空：优于5E-7torr，主腔室工作气压可调；5.带全自动loadlock单基片进样室，可以安装一个8英寸的基片；6.样品加热台温度：最大不低于800摄氏度，转速0-20RPM可调，还具有清洗样品功能；7.电源数量：2台600W的射...

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