:其他仪器仪表采购需求概况:拟购置的二氟化氙气相刻蚀机一套，配置参数包括：1.晶圆尺寸：8英寸向下兼容；2.样品台可进行温控范围5~45℃；3###路：XeF2、p、N2；4.工艺腔配一个干泵；5.重复性
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