英寸晶圆以及不规则碎片；2.注入能量：低能量注入：5~30keV，波动±1%;高能量注入：30~100keV，波动≤±********、100keV~200keV，波动≤±********%；3.注入温度：常温至700℃可调，加热台采用水冷或气冷方式降温；4.注入角度：注入角可0°或7°，样品旋转角度0°至23°可调；5.注入剂量精准度≤********%；6.离子注入剂量范围：1×1011at/...
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