真空≤8E-8Torr，开腔后从大气抽到5E-6Torr小于30分钟；2.一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，带流量感应探头的###路。3.真空计及气体流量###路###路N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。4.配置一套晶振控制器，集成于系统PLC可.

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