化氙气相刻蚀机
预算金额（元）:
2,230,********
采购品目:
其他仪器仪表
采购需求概况:
拟购置的二氟化氙气相刻蚀机一套，配置参数包括：
1.晶圆尺寸：8英寸向下兼容；
2.样品台可进行温控范围5~45℃；
3###路：XeF2、H2、N2；
4.工艺腔配一个干泵；
5.重复性<5%，均匀性<5%；
联系人:
吴国才
联系电话:
***-*******
预计采购时间:
2024-02
备注:
无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以..
预算金额（元）:
2,230,********
采购品目:
其他仪器仪表
采购需求概况:
拟购置的二氟化氙气相刻蚀机一套，配置参数包括：
1.晶圆尺寸：8英寸向下兼容；
2.样品台可进行温控范围5~45℃；
3###路：XeF2、H2、N2；
4.工艺腔配一个干泵；
5.重复性<5%，均匀性<5%；
联系人:
吴国才
联系电话:
***-*******
预计采购时间:
2024-02
备注:
无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以..
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联系人：王越
电话：010-68819835
手机：13661355191 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：wangyue@zbytb.com
下载招标公告:二氟化氙气相刻蚀机招标公告.pdf
