圆8英寸，可向下兼容；2.光刻分辨率：********、********、1um；3.直写速度：最高分辨率条件下直写速度≧3mm2/min；最快直写速度≧150mm2/min；4.套刻精度：正面±********、背面±1um；5.半导体激光器波段405nm；6.激光能量：300mW；7.灰度光刻,255阶;8.数据软件具备图形修正功能；9.配备气体测量自动聚焦系统、光学测量自动聚焦系统。...
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：方婷
电话：010-53341173
手机：13011091135 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：fangting@zbytb.com
下载招标公告:深圳技术大学激光直写光刻机意向.pdf
