包括：1.可进行8英寸晶圆并向下兼容，兼容方式采用压环及托盘2种方式；2.传送样品机械手臂可兼容8寸、6寸、4寸、3寸样品；3.样品台采用流体冷却控制方式，通过连接独立的冷却机来控制温度，温度控制范围为-30℃至80℃，温度控制精度为设定值的/********℃；带背氦冷却功能；4.刻蚀腔体极限真空度：5E-6Torr，腔体漏率≤1mTorr/...
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