合等离子体增强化学气相沉积仪一套，配置参数包括：1.晶圆尺寸：8英寸向下兼容，兼容方式采用托盘；2.反应腔室腔壁热,0~60°C可调；3.上电极ICP源射频发生器：频率********，功率≥1100W；4.下电极偏压射频源：频率********，功率≥300W；5.样品台可加热：控制范围-20°C~300°C；****###路工###路：Ar,O2,CF4,N2,CH4,H2，5%********
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