备，主要组件与参数如下：6kW电子束源，含6坩埚靶位，带电子束束斑扫描控制器；主工艺腔高度≥800mm，带全量程真空计，真空系统采用前级干泵涡轮分子泵配置，极限真空≤********×10-8Torr；石英晶振膜厚计和控制器，镀率厚度分辨率≤********？/s；4英寸旋转样品台，带循环水冷；配备Load-lock进样仓，满足4英寸样品进样，带全量程.

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