1. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目编号：0762-2441CBNB2002
招标项目名称：甬江实验室采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机项目
项目实施地点：中国浙江
招标产品列表（主要设备）：
3. 投标人资格要求
3.1特定资格条件：
3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
3.2本项目不接受联合体投标。
3.3未领购招标文件不可以参加投标。
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始时间：2024年1月16日，上午：8:30-11:30 ；下午：13:30-17:00。
招标文件领购结束时间：2024年1月23日17:00（北京时间）
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目编号：0762-2441CBNB2002
招标项目名称：甬江实验室采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机项目
项目实施地点：中国浙江
招标产品列表（主要设备）：
| 序号 | 货物名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 氟化氢干式刻蚀机 | 1套 | 系统主要由控制系统、真空系统、工艺腔室、工艺气体配送管路和控制系统、终点监控，电源控制系统等部件组成。 | / |
| 2 | 二氟化氙干法刻蚀机 | 1套 | 系统主要由控制系统、真空系统、工艺腔室、工艺气体配送管路和控制系统、电源控制系统等部件组成。 | / |
3.1特定资格条件：
3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
3.2本项目不接受联合体投标。
3.3未领购招标文件不可以参加投标。
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始时间：2024年1月16日，上午：8:30-11:30 ；下午：13:30-17:00。
招标文件领购结束时间：2024年1月23日17:00（北京时间）
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