号名称数量品牌规格型号技术参数售后服务1真空兼容高精度四自由度位移台1行程Tx/Ty：±10mm/±10mm；Rx/Rz:±10°/±10°；分辨率Tx/Ty：********μm；Rx/Rz:6μrad；重复性：Tx/Ty：≤±1μm；Rx/Rz:≤±30μrad；敏感轴X轴定位精度：±5μm；负载：10Kg（水平）/5Kg（任意方向）；额定负载下，任意位置断电自锁；真空兼容性：10-5Pa；质..
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